芯片封装厂晶圆划片加碳机二氧化碳发泡机**纯水防静电装置

芯片封装厂晶圆划片加碳机CO2发泡机**纯水电阻率调节机**纯水防静电装置

型号ELK-1000A 1000L/H

型号ELK-2000A 2000L/H

型号ELK-3000A 3000L/H

★**纯水防静电装置的原理和作用：

**纯水防静电装置，又称co2 bubbler(二氧化碳发泡机)，去离子水电阻率调节装置，加碳机，CO2注入机等。其原理是通过膜接触器向高电阻率的纯水中无污染地注入二氧化碳， 膜接触器的特点是气体可以透析式穿过膜表面均匀溶解到水里， 而水和微粒杂质却很难透过膜。用这种特制膜将CO2 气体和**纯水隔开在水中产生适量的离子增强**纯水的导电性，降低纯水的电阻率，防止在晶圆划片制程、清洗等半导体加工过程中产生静电损伤产品，消除硅屑的静电吸附便于清洗干净， 较后烘干后二氧化碳挥发不残留任何杂质，不造成二次污染。**纯水防静电装置和设备，可有效控制微电子工业生产制程中的静电危害，防止静电吸附导致产品因静电放电受到损伤， 防止静电破坏和微粒子的附着。此产品可以消除产品表面产生的静电对产品造成静电吸附污染、静电放电损伤等危害，大大提高了产品的良品率。

★ELK系列**纯水防静电装置的技术优势：

ELK系列**纯水防静电设备，电阻率在0.2-2.0MΩ.cm 之间自由设定，产水量达1000-3000 升/小时，可一对一、一拖多模式稳定运行，各项技术参数均达到国外同类产品标准。本设备内部全部采用进口洁净材料，符合半导体**纯水的标准。设计原理是通过膜接触器来实现**纯水的洁净CO2 无污染注入。膜接触器的特点是气体可以透析式穿过膜表面均匀溶解到水里，而水和微粒杂质却很难透过膜。用这种特制膜将CO2 气体和**纯水隔开， 通过设备中的精密调节装置可以控制CO2 在水中的溶解量， 从而实现精密控制水的电阻率。产品水的电阻率可以很方便地调整到0.2-18MΩ.cm范围内。技术优势如下：

1、全304不锈钢机箱，达到百级洁净室使用标准。

2、电阻率控制调节精准度高，调节精度±0.1MΩ.cm。

3、有气压低、电阻率高、水压低、水压高报警功能。

4、有流量和气压双向调节功能。

5、设备全部采用进口洁净材料，符合半导体**纯水的标准。

6、用气量少，

★适用行业： 此设备是半导体制造和FPD制造、晶圆和芯片切割工序的*设备

1、芯片封测厂晶圆划片割裂防静电损害

2、微电路芯片切割和清洗

3、光掩膜切割和清洗

4、半导体硅片切割和清洗

5、TFT面板切割和清洗

6、特殊工业的控制**纯水电阻